Name: 愛發(fā)科ULVAC 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀PHI ADEPT-1010
Brand: ULVAC/日本愛發(fā)科
Availability: InStock

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愛發(fā)科ULVAC 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

更新時間：2026-09-11

ADEPT-1010型四級桿動態(tài)SIMS采用獨特的二次離子提取系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠提高二次離子傳輸性能。高的離子傳輸性能提高了深度分析的檢測限，使得ADEPT能夠出色完成對離子注入結(jié)構(gòu)的深度和劑量檢測任務(wù)。這些離子注入過程中的關(guān)鍵參數(shù)測試的重復(fù)性精度可以控制在幾個百分點，符合半導(dǎo)體行業(yè)的需求。超高真空檢測環(huán)境有助于對低濃度大氣污染物進(jìn)行深度剖析，同時保持了出色的深度分辨率和低濺射率。

PHI ADEPT-1010愛發(fā)科ULVAC 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀的詳細(xì)資料

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	價格區(qū)間	1000萬-2000萬
儀器種類	四極桿	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,制藥/生物制藥,半導(dǎo)體

愛發(fā)科ULVAC 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀

ADEPT-1010 的超高真空檢測環(huán)境有助于對低濃度大氣污染物進(jìn)行深度剖析，同時保持了出色的深度分辨率和低濺射率。這種檢測能力對于高速半導(dǎo)體器件的檢測信息完整性而言至關(guān)重要。應(yīng)用SIMetric軟件，實現(xiàn)高效快速測試的同時，ADEPT-1010能夠自動分析分析多個樣品，實現(xiàn)無人值守。

·高靈敏度二次離子檢測光學(xué)系統(tǒng)

·懸浮電位離子槍適于淺注入層分析

·對大氣污染物組分具有低檢出限

·絕緣體深度分析

·高精度自動樣品臺

ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動分析而設(shè)計，是大多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實驗室的常用工具。通過優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng)和超高真空設(shè)計，提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度。

愛發(fā)科ULVAC 動態(tài)二次離子質(zhì)譜儀